... |
- , , . , .
, - " ", . ?
(, ) , . "" SiH. , ? , - , :" "...
() Si3N4.
() - , SiC - . , (), , , .
- , , - SiO2 ( - ).
ɸ SiF4 , ""( .silex - ), "", .. - ", ". ... - ...
:
() , , " ", , , , " ".
... ... ... ... ... ....
... " "... ...
- , : ... ... ...... , , , ... ...
...
, ... : . - , . , , , . , , - , . , , - ... . - , . , .
"" - "Si", ""... - , ... ...
"Si" ""...
...
"" ""...
() (), ( )... - , , , , ... - ... - ...
... ( ) , !
: | = =/ ... |